KPFM- und EFM- Prüfmuster
Abwechselnde Gold- und Aluminiumlinien mit Lücken


Einleitung

Das KPFM- und EFM-Prüfmuster wurde speziell für die Prüfung der Leistung der Kelvin-Probe-Kraftmikroskopie und der elektrostatischen Kraftmikroskopie entwickelt. Dieses praktische Prüfmuster besteht aus Arrays mit abwechselnden Aluminium- und Goldlinien, die auf einem mit Siliziumoxid beschichteten Siliziumsubstrat aufgebracht sind. Es gibt 4 Array-Abstände: 4, 8, 20 und 40 um mit Lücken von 0,5-0,8 um zwischen den Linien. Die Zeilenhöhe beträgt ca. 35 nm.
Die Größe des Siliziumchips beträgt 5x5 mm mit einer Testfläche von 0,8 x 2,5 mm. Die Kupferdrähte sind mit den Al- und Au-Kontaktpads verbunden. Der Siliziumchip ist auf einer Glasscheibe mit 12 mm Durchmesser montiert; die Glasscheibe ist auf einer AFM-Scheibe aus Edelstahl mit 15 mm Durchmesser montiert. Die Gesamthöhe beträgt ca. 1,5 mm.


Merkmale des KPFM- und EFM-Prüfmusters:

  • Arrays mit abwechselnden Al- und Au-Linien
  • Zeilenabstände von 4, 8, 20 und 40 um mit einer Lücke von 0,5-08 um.
  • Die Zeilenhöhe beträgt ca. 35nm
  • Besteht aus einem Siliziumchip auf einer Ø12mm Glasscheibe auf einer Ø15mm Metallscheibe mit einer Gesamthöhe von etwa 1,5mm
  • Dünne Kupferdrähte sind mit den Al- und Au-Pads verbunden

Spezifikationen des KPFM- und EFM- Prüfmusters

Artikel Nr.

34-033040

Linienhöhe

35 nm

Lückenbreite

0.5 – 0.8 um

 

Linienbreite

Gruppe

Abstand

Aluminium

Gold

Large

40 um

10 ± 0.5 um

29 ± 0.5 um

Medium

20 um

5 ± 0.5 um

14 ± 0.5 um

Small

10 um

2 ± 0.5 um

6 ± 0.5 um

Extra small

4 um

1 ± 0.5 um

2 ± 0.5 um



Bestellangaben zu TipCheck AFM-Spitzentestproben

*Preisen ohne Umsatzsteuer, aber innerhalb der EU, müssen wir Ihr Ust.-Nummer überprufen.
KPFM und EFM Test-Probe mit Al und Au Linienanordnung, montiert auf 15 mm AFM-Scheibe KPFM und EFM Test-Probe mit Al und Au Linienanordnung, montiert auf 15 mm AFM-Scheibe
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34-034040 Stück €580,00
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