Cressington Rotationskipptische und Planetengetriebetisch
Cressington 108 REM Sputter Coaters
Cressington 108 REM Carbon Coaters
Cressington MTM-10 und MTM-20 Schichtdickenmessgeräte
Sputter Targets für Cressington 108 Serie
Verbrauchsmaterial für Cressington Coater, MTM Systeme und Vakuumpumpen
Cressington Rotationskipptische und Planetengetriebetisch
Einleitung
Motorisierte Rotationskipptische (RT) und Planetengetriebetische (RPT) liefern eine gleichmäßigere Schichtdicke bei der Beschichtung größerer Proben oder Proben mit hoher Topographie. Die optional erhältlichen Cressington Tische sind: • RT40 Rotationskipptisch für Cressington 108auto und 108manual Sputter Coater • RT100 Rotationskipptisch für Cressington 108auto/SE Sputter Coater oder 108carbon/A/SE Carbon Coater • RPT Planetengetriebtisch für Cressington 108auto/SE Sputter Coater oder 108carbon/A/SE Carbon Coater Alle Tische haben einen Aluminiumfuß und einen kleinen Glasrezipienten, wodurch sie einfach gegen den Standard Glasrezipienten ausgetauscht werden können. Der Elektromotor und die Tischeinstellungen befinden sich alle außerhalb der Vakuumkammer. Die Geschwindigkeit der motorisierten Probentische kann in fünf Stufen bis zu 120 U/min eingestellt werden. Die Probentische sind 90° kippbar und haben einen Feststellmechanismus. Ein 9V Netzteil (100V-240V) zum Betrieb des Motors ist immer im Lieferumfang enthalten.
Spezifikationen der Cressington RT und RPT Tische
Art |
RT40 Tisch
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RT100 Tisch
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RPT Tisch
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Artikelnr. |
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Kompatibilität |
108auto |
108auto/SE |
108auto/SE |
Aluminiumfuß |
Ø120 x 76mm |
Ø150 x 85mm |
Ø150 x 85mm |
Glasrezipient |
Ø120 x 44mm |
Ø150 x 65mm |
Ø150 x 65mm |
Bewegungen |
Rotation & Kippung |
Rotation & Kippung |
Planetenrotation & Kippung |
Geschwindigkeit |
Aus + 5 Stufen bis 120 U/min |
Aus + 5 Stufen bis 120 U/min |
Aus + 5 Stufen bis 120 U/min |
Kippwinkel |
+/- 90° |
+/- 90° |
+/- 90° |
Kippsperre |
ja |
ja |
ja |
MTM-kompatibel |
ja |
ja |
ja |
Stromanschluss |
9V DC |
9V DC |
9V DC |
Cressington RT40 Rotationskipptisch für 108 Sputter Coater
19-010220 RT40 Rotationskipptisch (AD Ø120 mm)
Der Cressington RT40 Rotationskipptisch wurde speziell für die Cressington 108auto und 108manual Sputter Coater mit Ø120 mm Kammer entwickelt. Auf dem 76 mm hohen Aluminiumfuß des RT40 sitzt ein 44 mm hoher Glasrezipient, wodurch sich die Gesamthöhe von 120 mm ergibt. Der RT40 Rotationskipptisch ersetzt den Ø120 x 120 mm Glasrezipienten des vorhandenen Cressington 108auto bzw. 108manual Sputter Coaters. Der Rotationskipptisch passt ebenfalls in JEOL und Agar Sputter Coater mit Ø120 x 120 mm Glasrezipient.
Der RT40 bietet eine fast euzentrische Kippung von 0-90° in beiden Richtungen. Die Drehgeschwindigkeit ist in 5 Stufen bis 120 U/min einstellbar. Der Standard Probenhalter des RT40 ist für vier 12,7 mm Stiftprobenteller ausgelegt. Andere Probenhalter sind optional erhältlich. Für präzise Schichtdickenmessung kann der Cressington RT40 Rotationskipptisch zusammen mit einem MTM Schichtdickenmessgerät kombiniert werden. Der Messkopf sitzt auf der gleichen Höhe wir die Probenteller. Ausstattung und Vorteile des RT40 Tisches:
- Gleichmäßigere Beschichtung
- Bessere Abdeckung bei dünnen Schichten
- Kurze Entfernung beim Beschichten
- Fast euzentrisch +/- 90° kippbar
- Voll kompatibel zu Sputter Coatern mit Ø120 x 120 mm Kammer
- Voll kompatibel mit Schichtdickenmessung
- Inkl. 9V Netzteil (100-240V)
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Cressington RT100 Rotationskipptisch für 108/SE Coater
19-012050 RT100 Tisch (AD Ø150 mm)
Der Cressington RT100 Rotationskipptisch wurde speziell für Cressington Coater mit großer 150 mm Kammer entwickelt und ist voll kompatibel zum 108auto/SE Sputter Coater und dem 108carbon/A/SE Carbon Coater. Der RT100 Rotationskipptisch verfügt über eine große Ø100 mm Plattform und ermöglicht das gleichmäßige Beschichten großer Proben. Im Lieferumfang ist ein 65 mm hoher Glasrezipient enthalten. Zusammen mit dem Unterteil des RT100 kann der 65 mm Rezipient den Ø 150 x 150 mm Rezipienten ersetzen. Man kann den 150 mm hohen Rezipienten aber auch statt des 65 Rezipienten auf das Unterteil setzen. Der Cressington Coater Arm kann entsprechend eingestellt werden. Im Lieferumfang befindet sich ein großer Halter, der ein Deckglas oder mehrere Pin Stubs aufnehmen kann. Andere Probenhalter sind optional erhältlich. Der RT100 kann 0-90° in beiden Richtungen gekippt werden. Die Drehgeschwindigkeit ist in 5 Stufen bis 120 U/min einstellbar. Für präzise Schichtdickenmessung kann der Cressington RT100 Rotationskipptisch zusammen mit einem MTM Schichtdickenmessgerät kombiniert werden. Ausstattung und Vorteile des RT100 Tisches:
- Gleichmäßigere Beschichtung großer Proben
- Mehrere Entfernungen beim Beschichten
- Beschichtung vieler Proben gleichzeitig
- Kompatibel mit 4" Wafern
- Kompatibel mit Schichtdickenmessung
- Mehrere Probenhalter erhältlich
- Inkl. 9V Netzteil (100-240V)
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Cressington RPT Planetengetriebekipptisch für 108/SE Coater
19-012080 RPT Tisch (AD Ø150 mm)
Der Cressington RPT Planetengetriebekipptisch wurde speziell für Cressington Coater mit großer 150 mm Kammer entwickelt und ist voll kompatibel zum 108auto/SE Sputter Coater und dem 108carbon/A/SE Carbon Coater. Die vier Planeten-Probenhalter drehen sich jeweils um ihre eigene Achse, während sich auch der gesamte Tisch dreht. Der RPT Tisch sorgt für eine hervorragend gleichmäßige Beschichtung der Proben – auch bei höheren Topographien. Zusammen mit dem Unterteil des RPT kann der 65 mm Rezipient den Ø 150 x 150 mm Rezipienten ersetzen. Man kann den 150 mm hohen Rezipienten aber auch statt des 65 Rezipienten auf das Unterteil setzen. Der Cressington Coater Arm kann entsprechend eingestellt werden. Der Planetengetriebetisch ist standardmäßig mit vier Probenhaltern ausgestattet, die je 6 Standard 12,7 mm Pin Stubs aufnehmen können. Andere Probenhalter sind optional erhältlich. Der RPT kann 0-90° in beiden Richtungen gekippt werden. Die Drehgeschwindigkeit ist in 5 Stufen bis 120 U/min einstellbar. Für präzise Schichtdickenmessung kann der Cressington RT100 Rotationskipptisch zusammen mit einem MTM Schichtdickenmessgerät kombiniert werden. Ausstattung und Vorteile des RPT Tisches:
- Gleichmäßigere Beschichtung großer Proben
- Mehrere Entfernungen beim Beschichten
- Beschichtung von bis 24 Proben gleichzeitig
- Kompatibel mit 4" Wafern
- Kompatibel mit Schichtdickenmessung
- Mehrere Probenhalter erhältlich
- Optionale Adapterplatten für große Proben
- Inkl. 9V Netzteil (100-240V)
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