EM-Tec Quarzkristalle für Schichtdickenmessgeräte


EM-Tec Quarz-Kristalle für Schichtdicken-Messgeräte
Einleitung

Die EM-Tec Quarz-Kristalle sind besonders geeignet für Schichtdickenmessgeräte, Schichtdickenkontrollgeräte und Quarzkristall-Mikrowaagen (QKM), die zusammen mit REM Sputter Coatern, EM Kohlebedampfungsanlagen oder Vakuumbeschichtungssystemen eingesetzt werden. Die Kristallform ist plano-konvex. Es stehen zwei Typen zu Verfügung:

  • Häufig genützte 6 MHz Quarzkristalle mit einem Durchmesser von 14,0 mm (0,55”). Diese EM-Tec Quarze sind völlig kompatibel mit Systemen, die einen 6 MHz Sensor verwenden.
  • Kleinere 5 MHz Quarzkristalle mit einem Durchmesser von 12,5mm (0,49“). Diese EM-Tec Quarze sind kompatible mit Systemen, die einen 5 MHz Sensor verwenden.

Ideal für Schichtdickenmessgeräte, die mit Sputter Coatern, Kohlebedampfungsgeräten und Vakuum-Beschichtungssystemen von Cressington, Agar, Bal-Tec, Denton, Emitec, Edwards, JEOL, Leica, Polaron, Quorum und Safe-Matic verwendet werden. Die EM-Tec Quarzkristalle werden in Einheiten von 10 Stück in einer flachen Karussellverpackung geliefert.
Es stehen zwei unterschiedliche Kontaktbeschichtungen des Quarzkristalle zu Verfügung:

  • Gold-Kontakte als Standard und geeignet für Materialien mit spannungsarmen Schichten, wie: Gold, Silber, Palladium, Gold/Palladium, Platin/Palladium, Kupfer
  • Silber-Kontakte sind geeignet für Beschichtungsmaterialien mit hoher Spannung, wie: Chrom, Nickel, Platin, Iridium, Kohlenstoff.



Spezifikationen der EM-Tec Quarzkristalle

EM-Tec 6 MHz, Gold Quarz-Kristallen für Schichtdicken-Messgeräte

Artikel-Nr.

64-010855

64-010857

64-010851

64-010853

Frequenz

6 MHz

5 MHz

Kristallform

Plano-konvex

Plano-konvex

Substratmaterial

Quarz

Quarz

Kontakte

Gold

Silber

Gold

Silber

Durchmesser

14,0 mm / 0,55”

12,5 mm / 0,49”

Stärke

0,27 mm

0,27 mm

Verpackung

Karussell / 10

Karussell / 10

Anwendung

Spannungsarme Beschichtung

Beschichtung mit hoher Spannung

Spannungsarme Beschichtung

Beschichtung mit hoher Spannung


EM-Tec Auswahltabelle für Quarzkristalle für Schichtdickenmessgeräte

Herstellername

6Mz / 14 mm FTM Quarzkristalle

5 Mhz / 12.5 mm FTM Quarzkristalle

AGAR Coaters

X

 

BAL-TEC QSG100

X

 

Cressington 108/208/308

X

 

Emitech K series

 

X

JEOL 1200 & 1300 series

X

 

Leica Coaters

X

 

Ältere Polaron/Bio-rad/Fison/Thermo

X

 

Quorum Coaters

 

X

Safematic

X

 

SPI modular coater (older)

X

 



Bestellangaben zu den EM-Tec 6 MHz / 14,0 mm Quarzkristallen für Schichtdickenmessgeräte

*Preisen ohne Umsatzsteuer, aber innerhalb der EU, müssen wir Ihr Ust.-Nummer überprufen.
EM-Tec 6 MHz / Ø14,0 mm, Gold Quarzkristallen für Schichtdickenmessgeräte EM-Tec 6 MHz / Ø14,0 mm, Gold Quarzkristallen für Schichtdickenmessgeräte
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
64-010855 Box/10 €125,50
Qty:

 

EM-Tec 6 MHz / Ø14,0 mm, Silber Quarzkristallen für Schichtdickenmessgeräte EM-Tec 6 MHz / Ø14,0 mm, Silber Quarzkristallen für Schichtdickenmessgeräte
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
64-010857 Box/10 €125,50
Qty:

 

Bestellangaben zu den EM-Tec 5 MHz / 12,5 mm Quarzkristallen für Schichtdickenmessgeräte

*Preisen ohne Umsatzsteuer, aber innerhalb der EU, müssen wir Ihr Ust.-Nummer überprufen.
EM-Tec 5 MHz / Ø12,5 mm, Gold Quarzkristallen für Schichtdickenmessgeräte EM-Tec 5 MHz / Ø12,5 mm, Gold Quarzkristallen für Schichtdickenmessgeräte
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
64-010851 Box/10 €229,00
Qty:

 

EM-Tec 5 MHz / Ø12,5 mm, Silber Quarzkristallen für Schichtdickenmessgeräte EM-Tec 5 MHz / Ø12,5 mm, Silber Quarzkristallen für Schichtdickenmessgeräte
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
64-010853 Box/10 €220,00
Qty:

 



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